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抛光头的压力分布率
来源:TEKSCAN薄膜压力传感器 Tactilus压力分布测试 气体传感器 红外传感器 El冷光片_热电堆传感器厂家_热释电红外传感器_热电堆传感器应用电路_台湾热电堆传感器原厂_热电堆传感器应用_热电堆 电路_热释电红外传感器工作原理及结构说明_热释电传感器_红外传感器 | 发布时间:8/29/2021 10:19:25 PM | 浏览次数:
过程控制与验证 注册我们的时事通讯 XSENSOR工业传感器适用于生产过程中需要对应用压力、校准和平整度充满信心的制造工程师,提供最精确的压力曲线。 不准确的质量保证测试成本高昂,可能导致业务和生产力的损失,最坏的情况下,还会产生重大责任问题。 ‍ 对于晶圆抛光等产品应用,验证均匀压力是生产产量的关键——如果您生产的产品依赖于压辊或夹送辊,确保其重量均匀分布对于维持生产标准至关重要。 概述 半导体加工 消除半导体加工缺陷。 确保您的硅片研磨设备施加均匀的压力,并防止哪怕是最小的缺陷损害您的硅片。 抛光头的压力分布可以使用我们的高精度、高分辨率LX传感器进行评估。这在晶圆抛光应用中尤其重要,因为晶圆抛光设备设计为一次去除微米。 01 在线质量保证 最大限度地提高生产过程中的在线质量。 在自动化测试程序中使用压力传感器进行在线质量保证测试。 验证材料满足性能和制造缺陷的验收参数。 ‍ 测试产品的表面压力,如阀座结构、泡沫或垫片材料。 02 捕捉脚印 保持压辊和夹送辊的平衡。 捕捉夹送辊和夹送辊之间的静态或动态足迹。在整个接触区域获得连续的厚度和压缩性。 使用压辊传感器,您可以测量压力分布,而不会破坏压辊的平衡。 ‍ 我们的传感器采用专有的菱形设计,最大限度地利用传感元件,并在测量时消除电子噪声,为您提供最准确的钳口足迹可视化。 03 规格与性能 XSENSOR过程控制和验证传感器提供精确的可重复测量,以表征您的产品或过程界面。了解施加压力的均匀性和大小。 快速响应时间、最小漂移和滞后确保在线质量保证测试的一致性测量。稳定的校准确保您的传感器随时可以使用,无需重新校准。 通过快速设置和易于解释的测量图形和视觉表示,节省宝贵的生产和设置时间。 精确、可重复的压力传感器测量精度为±5%—在不重新校准的情况下保持数千个周期的精确测量 传感器尺寸为1.2 mm x 1.2 mm的高空间分辨率提供了最小表面特征的压力细节 快速的传感器响应和0.01 psi的传感器分辨率确保捕捉到界面压力的最小变化 超薄传感区域,我们的LX传感器小于1毫米,可精确测量轮廓表面 定制覆盖材料可满足工业应用的需要 用于分析或直接数据采集选项的综合软件工具包 过程控制与验证 传感器 分辨率MM(英寸) 用例 压力范围 N/CM2(PSI) 感应区 厘米X厘米(英寸X英寸) LX100:100.100.10 2.54 (.1) 晶圆抛光 0.07 - 2.7 (0.1 - 3.87) 25.4 x 25.4 (10 x 10) LX100:100.100.10 2.54 (.1) 垫片密封 0.14 - 10.34 (.2 - 15) 25.4 x 25.4 (10 x 10) LX205:64.128.10 2.54 (.1) 中等喷雾压力 .07 - 10.3 (.1 - 15) 16 x 32 (6.3 x 12.6) LX100:50.50.05 5.08 (.2) 低压喷雾 0.07 - 2.7 (0.1 - 3.9) 25.4 x 25.4 (10 x 10) IX510:128.128.05 5.08 (.2) 高喷雾压力 3.4 - 207 (5 - 300) 25.6 x 25.6 (10.1 x 10.1) IX510.31.96.40-04 .64 x 6.4 (.025 x.25) 压辊 .7 - 88.3 (1 - 128) 2 x 61 (.8 x 24) PX100:10.160.10-05 2.54 x 5.08 (.1 x.2) 挡风玻璃雨刮器 0.07 - 2.7 (0.1 - 3.9) 2.54 x 81.3 (1 x 32) IX510:18.45.08 3.18 (.125) 刹车片 6.9 - 353 (10 - 512) 57.2 x 14.3 (22.5 x 5.6) 目录 产品目录 在此综合目录中获取有关XSENSOR产品设计和安全测试产品以及传感器规格的最新信息。 下载目录
 
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